產品介紹

VIGO的ENT外延部門生產III-V(GaAs-，InP-)相關的半導體化合物，在外延方面有35年的經驗，并且能夠根據客戶需求提供定制服務。VIGO利用MOCVD外延技術制備了二元、三元、四元和五元三-五元化合物半導體的原子工程外延層，具有德國柏林廠商Laytec的監(jiān)控生產系統，擁有水平層流反應器，進行基片載流子的多次旋轉產品。這條新產品線擴展了VIGO公司的產品組合，為各種微電子和光子應用提供外延服務，下游的應用包含三極管，二極管，激光器，探測器等。具有以下特點：

• 外延納米技術，超越單一技術解決方案

• 大規(guī)模生產或小批量制造，提供多類優(yōu)質外延片

• 生產的高級III-V族化合物半導體外延結構，被廣泛運用于光子設備（F-P、VCSEL、QCL激光器、光電探測器）、微電子設備（二極管、晶體管）

• 聚焦無線、電信、傳感或打印領域的高度創(chuàng)新型產品，可提供全面的研發(fā)服務。

III-V族外延晶片主要特點

• 超高純度

• 精確控制厚度在±1nm

• 優(yōu)秀的均勻性

• 重現性

• 可外延尺寸 2, 3, 4，8英寸

產品性能

XRD曲線：

產品純度一致性：

表面粗糙度：

量子井：

產品應用

半導體類型：

• 場效應晶體管，被動器件，高遷移率晶體管

• EEL,SOAs1300-1600 nm,VCSELs(例850nm),DBR,QuantumDots

• LED(550nm to infrared) ,Microwave ,Schottky,High-Brightness

• InGaAs, AlGaAs探測器,SWIR, LWIR

外延晶圓類型：

• GaA based – GaAs,AlxGa1-xAs,InxGa1-xAs,In1-(y+z)GayAlzAs,In0.5(Ga1-xAlx)0.5P

• InP based – InP,In0.53Ga0.47As,In0.52Al0.48As,InxGa1-xAsyP1-y,(AlxGa1-x )InyP1-y